尺寸图
电缆连接
警告
自2000年3月以来，3810系列的引脚分配已经改变。
与旧类型不兼容，请检查
标准规格
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 10SCCM~2SLM（可选） | 3SLM~50SLM（可选） |
|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 准确性 | ±3％F.S.（25°C） | ±5％F.S.（25°C） |
| 温度系数 | ±0.15％F.S. /°C（15~35°C） | ±0.2％F.S. /°C（15~35°C） |
| 再现性 | ±0.5％F.S. | |
| 耐压 | 980kPa（G） | |
| 允许周围温度 | 5~45℃ | |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | |
| 气体接触材料 | 主体SUS303，PTFE | |
| 密封材料FKM（选件CR或NBR） | ||
| 电气连接 | 171826-5（由AMP制造） | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | |
| 所需电源 | ±15 VDC±5％ 60 mA | |
| 配件（车身尺寸） | Rc1 / 4 | |
| 重量 | 约250g | 约350g |
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
接线示例
