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等离子蚀刻机的工作原理和用途，你了解多少？

阅读：55发布时间：2022-6-7

　　等离子蚀刻机广泛应用于等离子刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相，处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖，所以，不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来。
　　等离子蚀刻机的工作原理：等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光·等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。
　　等离子蚀刻机等离子表面处理的效果可以简单地用滴水来验证，处理过的样品表面*被水润湿。长时间的等离子处理，材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有极小的表面接触角和润湿能力。等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积提高粘合强度。


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